АннотацияКлючевые слова Проанализированы методы получения тонких пленок, описано применение метода импульсного лазерного осаждения для получения тонких алмазоподобных пленок. Рассмотрены различные способы измерения толщины тонких пленок. Описана лазерная установка PLD-400, включающая эксимерный лазер CL 7000 и вакуумную систему с турбомолекулярным насосом Turbovac 350 i. Экспериментальная часть посвящена выявлению оптимальных технологических параметров импульсного лазерного осаждения. Измерение толщины осуществлялось методом эллипсометрии. Выяснено, что способ очистки напыляемой поверхности влияет на устойчивость покрытия, а глубина вакуума и расстояние между мишенью и подложкой на толщину пленки. Алмазоподобные пленки, тонкие пленки, импульсное лазерное осаждение, вакуумное напыление, лазерная абляция, эксимерный лазер, эллипсометрия, толщина тонких пленок

МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация Аннотация Ключевые слова Обозначена проблема точности контроля загрязнения окружающей среды. Описана проблема существующих измерительных приборов, в основе которых лежит кварцевый пьезоэлемент. Приведены преимущества кварцевых микровесов над другими методами измерения концентрации. Показана конструкция кварцевого массочувствительного датчика. Предложен метод его изготовления-импульсное лазерное осаждение, указаны преимущества методов над аналогами. Описан эксперимент, проведенный на установке НаноФаб 100. Указаны параметры эксперимента, такие как число импульсов, частота следования импульсов, давление в камере, расстояние между мишенью и подложкой. Приведена таблица с результатами измерения частоты собственных колебаний резонатора до и после нанесения на него покрытия. Указаны полученные значения массы и толщины осажденного слоя. Отмечены возможности определения концентрации вещества в среде. Импульсное лазерное осаждение, датчик пыли, массочувствительный датчик, кварцевые микровесы, кварцевый резонатор, загрязнение окружающей среды, тонкопленочные покрытия, измерение толщины тонких пленок

No abstract

One of the promising methods of thin film manufacturing is a method of pulse laser precipitation. By virtue of energetic peculiarities of laser impact upon a target this method is widely used at the formation of diamond-like structures. The manufacture of diamond-like structures on laser plant PLD-400 with the use of an excimer transmitter is described. Through the method of ellipsometry there is investigated a growth rate and peculiarities of thickness distribution under different conditions of precipitation.

No abstract