No abstract

Schlagwörter: Laserinterferometrie, absolute Distanzinterferometrie, Abstandsmessung, Phasenmessung, synthetische Wellenlänge, Beat-Frequenz Seit mehreren Jahren gibt es Versuche, konventionelle Laserinterferometer durch absolut messende Systeme abzulösen. Um die Mehrdeutigkeiten in der interferometrischen Längenmessung zu beseitigen, wird in der Regel der Einsatz von mehreren verschiedenen Laserwellenlän-gen vorgeschlagen. Mit der Entwicklung durchstimmbarer Laserquellen gewinnen Methoden an Bedeutung, die eine variable Wellenlänge nutzen. Sie bilden eine Alternative zu den bekannten Multi-Wellenlängen-Verfahren. Während der Laserdurchstimmung wird die von der Reflektorentfernung abhängige Gesamtphasenwinkelände-rung des Interferenzsignals gemessen. Phasenwinkelän-derungen werden jedoch auch durch Brechzahlschwankungen im durchstrahlten optischen Medium und Vibrationen des Retroreflektors hervorgerufen. Diese Störun-gen können beseitigt werden, wenn anstelle der kurzen Lichtwellenlänge eine mit zwei Laserstrahlen generierte variable synthetische Wellenlänge (VSW) genutzt wird. Das auf dieser Grundlage entwickelte VSW-Interferometer liefert daher auch unter industriellen Einsatzbedingungen gute Ergebnisse. Absolute distance interferometry using variable synthetic wavelengthSince many years there have been attempts to replace conventional laser interferometers by absolutely measuring systems. To remove the ambiguities in interferometrical length measurement in general, the application of several different laser wavelengths is offered. With the development of tunable lasers those methods become important which use a variable wavelength. They are an alternative to the well-known multi wavelength techniques. Düring the laser tuning the total change of the phase of the interferometric signal is measured, which depends of the reflector distance. However, alterations of the phase are also caused by changes of the refractive index of the optical medium and by vibrations of the retroreflector.These disturbances can be avoided if a variable synthetic wavelength (vsw) is generated by two laser beams instead of using the short wavelength of light. Therefore the vsw-interferometer, developed on this basis, supplies good results also under industrial conditions.

No abstract