L P E experiments are carried out by the horizontal dipping technique with axial rotation of plans Gd,Ga,O,, (GGG) substrates oriented by means of a n optical two-circle reflection goniometer. The measured growth rate of (YSm),(PeGa),O,, films as a function of the misorientation with respect to a singular { 110) plane in the range 0.05" 5 a & 13" shows an anisotropy depending nonlinearly on the angle. Surface kinetic coefficients are determined by separation of volume transport and interfacial processes. For 0" a 5 8" the k(a) dependence is linear with a slope (1.4 + 0.2) x x 10+ cm/s, for larger misorientations, however. the slope enlarges. The analysis of the experimental results with the combined volume and surface diffusion model from Gilmer, Ghez, Cabrera shows that the mean surface diffusion distance is in the order of the step height and the desolvation proccss a t transition from surface to a kink can be neglected against the desolvation a t transition from the liquid phase t o the surface. This corresponds to Chernov's model, where surface diffusion is unimportant. The increasing slope of the k(a) curve for n 2 8' suggests an interaction and superposition of atomic rough steps. LPE-Experimente werden durchgefiihrt mit der horizontalen Eintauchtechnik bei axialer Rotation ebener Gd,Ga,O,, (GGG)-Substrate, die mittels eines optischen Zweikreis-Goniometers orientiert wurden. Die gemessenc Wachstumsgeschwindigkeit der (YSm),(FeGa),O,,-Schichten zeigt als Funktion der Fehlorientierung beziiglich einer singularen { llO}-Ebene im Rereich 0.05" 5 13" eine vom Winkel nichtlinear abhangende Bnisotropie. Kinetische Koeffizient,en der fehlorientiertcn Flachen werden durch Separation von Volumentransport-und Grenzflachenprozessen ermittelt. Fur 0" 5 a & 8' ist die k(n)-AbhSngigkcit linear init dem Anstieg (1,4 5 0.2) x x 10+ cni/s, fur groBere Winkel hingegen wachst dcr Anstieg. Die Analyse der experimentellen Resnltate mit dem gekoppelten Volumen-und OberfIachendiffusionsmode11 von Gilmer, Ghez. Cabrera ergibt.. daB die mittlere freie Weglange der Oberflachendiffusion in der GroBenordnung der Stufcnhohe liegt, wahrcnd die Desolvatation beim Ubergang von der Oberflache auf eine Halbkristallage vernachlassigt werden kann gegeniiber der Desolvatat,ion beim tfbergang von der fliissigen I'hasc zur Oberfliiche. Diesentspricht einem Modell von Chernov, in dem Oberflachendiffusion unwesentlich ist. Der wachsende Anstieg der k(a)-Kurve fur (1 2 8" deutet auf Wechselwirkung und Uberlagerung der atomar rauhen Stufen hin. a