Bài báo trình bày kết quả nghiên cứu biến tính nano SiO2 hình cầu bằng phương pháp thuỷ phân-ngưng tụ của tác nhân alkylsilane (Chlorotrimethylsilane-CTMS) dưới sự hỗ trợ của sóng âm. Ảnh hưởng của hàm lượng tác nhân alkylsilane và thời gian phản ứng được khảo sát. Hình thái học bề mặt, thành phần nguyên tử, liên kết hoá họ của nano SiO2 sau biến tính được đánh giá sử dụng các phương pháp phân tích ảnh kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FESEM); kính hiển vi điện từ truyền qua (TEM), phổ tán xạ năng lượng tia X (EDX), và phổ hồng ngoại (FT-IR). Kết quả cho thấy nano SiO2 sau biến tính có cỡ hạt phân bố tương đối đồng đều, có sự hình thành liên kết Si-OCH3 trên bề mặt vật liệu nền nano SiO2.