The paper presents studies at developing a technology for the formation of a rib integrated optical waveguide based on a Si3N4 film. The effect of ICP deposition modes on the structure of SiO2 and Si3N4 films and the effects of RIE etching of the waveguide on the rib profile and surface roughness are studied.

An important task in controlling signal reception, transmission, and processing in photonic integrated circuits is to make a specific EM waveform, which is done with polarization convertors. Today, various waveguide structures based on the effects of birefringence and dichroism are used as polarization controllers that control the electromagnetic waveform. This paper presents the structures of symmetric and asymmetric ridge waveguides that allow polarization control based on the birefringence effect; and the waveguide structure with an asymmetrically arranged metal film that allows polarization control based on the plasmon effect; and also the structure of a dichroic circular polarizer based on nanostructures.

Для управления приёмо-передачей и обработки сигналов в фотонных интегральных схемах важной задачей является управление поляризацией, которая осуществляется с помощью контролеров поляризации. На сегодняшний день в качестве контроллеров поляризации применяются различные волноводные структуры, управляющие формой электромагнитной волны на основе эффектов двулучепреломления и дихроизма. В данной работе представлены структуры симметричного и ассиметричного гребенчатых волноводов, которые позволяют управлять поляризацией на основе эффекта двулучепреломления, конструкция волновода, с использованием ассиметрично расположенной металлической пленки, позволяющая управлять поляризацией на основе плазмонного эффекта, а также структура дихроичного кругового поляризатора на основе наноструктур.