A Deus, pela vida e força para vencer as dificuldades. Aos meus pais e à minha irmã, pelo apoio e carinho sempre presentes. Á minha querida namorada, Fernanda, pelo apoio, carinho e ajuda durante os momentos bons e difíceis. Ao meu orientador, prof. Dr. Gustavo Rehder, pelos valiosos conselhos e suporte durante a composição deste trabalho. Ao Robert, amigo do grupo que se tornou um irmão. Aos técnicos que me auxiliaram durante a parte experimental deste trabalho, em especial, ao Alexandre, Igor, Teresa, Rita, Cris e Mário. À professora Miriam Lacalle e à Paula do Departamento de Dentística da Faculdade de Odontologia da USP, por disponibilizar o micro-durômetro e pelo auxílio no uso. À bibliotecária Ana Maria Badiali, pela ajuda com a revisão. A todo os amigos do Laboratório de Microeletrônica da EPUSP que contribuíram de alguma forma neste trabalho. RESUMO A concepção deste trabalho está ligada ao desenvolvimento de sistemas microeletromecânicos (MEMS) para RF na faixa de frequências de ondas milimétricas. Dentro deste contexto, o Grupo de Novos Materiais e Dispositivos (GNMD) do