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A procedure is developed to obtain desired dopant profile in epitaxial layer growth.Based an the results of system identification, linear-quadratic optimal control theory is used to determine the optimal input PH, concentration as a function of time. I n the performance index an auxiliary weighting coefficient must be incorporated. It is discussed how to select this weighting coefficient.Es wurde eine Vorschrift zur Erzeugung eines gewunschten Dotierungsprofils beim epitaktischen Schichtwachstuni entwickelt. Aufbauend auf den Ergebnissen der Systemanalyse wird die Theorie der optimalen Steuerung linearer Systeme unter Zugrundelegung eines quadratischen Zielfunktionals angewandt, um die optimale Zeitfunktion des PH,-Einspeisepartialdrucks zu ermitteln. Dazu muf3 in das Giitekriterium ein Gewichtskoeffizient als HilfsgroIje eingefuhrt werden. Die zweckmiiIjige Festlegung dieses Gewichtskoeffizienten wird diskutiert.