Die Ergebnisse zahlreicher Untersuchungen beweisen, daß sich die Methode der Diffusionsschichten bei Anwendung der Röntgenspektral‐Mikroanalyse zur Konstruktion von Phasenfeldern der Zustandsdiagramme verwenden läßt. Die Übereinstimmung der Resultate, die durch die Analyse von Diffusionsschichten erhalten wurden, mit Ergebnissen anderer physikalisch‐chemischer Analysenmethoden (im besonderen für die Systeme Cu‐Zn, Ag‐Zn und Cu‐Ag‐Zn) ist gut. Die Anwendung der Röntgenspektral‐Mikroanalyse zur Untersuchung der Zusammensetzung der Diffusionszonen erlaubt es, die Konzentration mit einer Genauigkeit bis zu 1 Gew.‐% zu bestimmen. Die Methode der Diffusionsschichten ist unentbehrlich für die Aufstellung von Zustandsdiagrammen der Systeme, die aus Elementen mit sehr unterschiedlichen Schmelztemperaturen oder aus schwerschmelzenden Elementen bestehen, bei denen die Anwendung anderer physikalisch‐chemischer Methoden wegen der sehr komplizierten Herstellung der Legierungen außerordentlich erschwert ist. Vorteile der Diffusionsmethode bei Anwendung der Elektronenstrahl‐Mikroanalyse im Vergleich mit den klassischen Methoden zur Ermittlung von Phasenfeldern in Zustandsdiagrammen sind: geringe Anzahl der zu untersuchenden Objekte, direkte Bestimmung der Konzentration der Phasen, relativ geringer Zeitaufwand zur Aufzeichnung und Auswertung der Konzentrationskurven. Die in der Arbeit angeführten Daten zur Kinetik der Wechselwirkung zwischen schwer‐ und leichtschmelzenden Metallen stimmen mit den Ergebnissen vieler Diffusionsuntersuchungen bei einer großen Anzahl binärer Systeme überein.