A ata de defesa, com as respectivas assinaturas dos membros da Comissão Julgadora, encontrase no processo de vida acadêmica do aluno.Dedico este trabalho à minha mãe Frâncis, ao meu pai Chertertom, à minha avó Maria Júlia e à minha irmã Natália, que me ajudaram e me deram suporte durante toda a minha jornada Agradecimentos Gostaria de agradecer primeiramente aos meus pais, Frâncis e Chertertom, minha irmã Natália e minha avó Maria Júlia, por toda a ajuda durante a minha graduação e durante o meu mestrado.A dona Maria de Lurdes por ter estado sempre presente como apoio para a minha família.Ao meu orientador José Alexandre Diniz, pela oportunidade, pelos conselhos dados durante a realização deste trabalho, a ida ao congresso internacional AVS e as ajudas na confecção deste trabalho.

No abstract

A demanda por energia a partir de matrizes não fósseis gera um cenário favorável para o avanço de tecnologias de menor impacto ambiental. Diante disso, este projeto visa o desenvolvimento e a caracterização de células fotovoltaicas de heterojunção p-a-Si/n-c-Si a partir da deposição de um filme de silício amorfo hidrogenado por ECR-CVD dopado por implantação de boro e de células fotovoltaicas de homojunção n-c-Si/p-c-Si/p+-c-S dopada por difusão de fósforo. Também foram executados processos de otimização de eficiência, como a deposição de camada antirrefletora e corrosão traseira para célula de heterojunção, com ganhos de eficiência de quatro ordens de grandeza, e recozimento térmico para célula de homojunção, com ganhos de 23,8% de eficiência.