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A special in-situ PEM fuel cell has been developed to make XAFS measurements during hydrogen and direct methanol operation possible. The chosen set-up in transmission allows for the on-line monitoring of changes in the catalysts oxidation states and their characteristic short-range order. In both operation modes, the catalyst is reduced during operation, as can be concluded from the XANES region of the spectra showing a decreased white-line intensity in E space.

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Induktiv gekoppelte Plasmen (ICP) bieten im Gegensatz zu kapazitiv gekoppelten Plasmen (CCP) eine höhere Plasmadichte und ermöglichen daher höhere Beschichtungs‐ bzw. Ätzraten und damit eine hohe Wirtschaftlichkeit bei industriellen Niederdruck‐ Plasmaverfahren.Wir werden im Folgenden ein neuartiges Impedanzanpassnetzwerk vorstellen, das für die hohe Anforderung zum Betrieb von induktiven Plasmen und speziell für den Betrieb in einer industriellen Anwendung entwickelt wurde.Für die Anwendung in Produktionsanlagen sind genaue Kenntnisse der Plasmaeigenschaften, wie der Homogenität und der Ionenenergieverteilung erforderlich. Plasmadiagnostische Untersuchungen und Berechnungen der Plasmadichteverteilung werden hierzu dargestellt. Abschließend wird die Anwendungen in einer Produktionsanlage vorgestellt, die auf einer kompakten Stellfläche von nur 19 m2 1200 Substrate der Größe 156 mm × 156 mm vollautomatisiert pro Stunde beschichten kann.