Absolute sensitivity is a parameter that directly connects the disturbing value with the response to it, is the determining physical characteristic of the absolute majority of the conversion structure, regardless on the operation principle. This parameter is also considered the main criterion for the quality of the product when using such structures as sensors of the corresponding values. Therefore, the problem of the transducer sensitivity increasing remains relevant in connection with the increasing the sensor number built on new principles: new materials, new functionality and increasing the requirements arising from the sensor operating conditions.

Анотація. Спостережувана експериментально лінійність робочої характеристики ємнісних сенсо-рів вологості газових середовищ на основі кремнієвих МОН -структур з нанорозмірним оксидним шаром, що знаходяться в режимах збіднення або слабкої інверсії, обґрунтована теоретично. Отрима-ний вираз для розрахунку робочої характеристики адекватно описує експериментальні залежності. Показано, що лінійність робочої характеристики обумовлена лінійністю зміни поверхневого потенці-алу структури від вологості, а лінійність поверхневого потенціалу визначається параметрами структу-ри та лінійністю зміни щільності поверхневих станів на межі розділу кремній -оксид.Ключові слова: сенсор вологості, робоча характеристика, лінійність, ємність, МОН -структура ABOUT PERFORMANCE LINEARITY OF THE ENVIRONMENT GAS HUMIDITY CAPACITIVE SENSORS BASED ON SILICON MOS STRUCTURES WITH A NANODIMENSIONAL SILICON OXIDE P. P. Fastykovsky, M. A. GlaubermanAbstract. Experimentally observed performance linearity of the environment gas humidity capacitive sensors based on silicon MOS structures with a nanodimensional silicon oxide being in depletion or weak inversion modes, is theoretically grounded. The obtained expression for the