Изучены закономерности формирования фазового состава, структуры и субструктуры в покрытиях квазибинарного сечения системы Ti-W-C, полученных в неравновесных условиях из ионно-плазменных потоков. Показано, что использование в качестве составляющих квазибинарной системы фаз с разной теплотой образования (TiC с относительно большой теплотой образования 183,8 кДж/моль и WC со сравнительно низкой теп-лотой образования 37,7 кДж/моль) позволяет изменять фазовый состав от монокарбида, стабильного до высоких температур, до многофазного со-стояния из фаз низших карбидов. Увеличение температуры подложки при осаждении приводит к анизотропному росту кристаллитов с преиму-щественным ростом в направлении падения частиц. С повышением со-держания TiC-составляющей с высокой энергией связи средний размер кристаллитов увеличивается. В то же время большое содержание WC-составляющей позволяет перевести структурное состояние материала на наноуровень с размером кристаллитов 4-20 нм.Вивчено закономірності формування фазового складу, структури й суб-структури в покриттях квазибінарного перерізу системи Ti-W-C, одер-жаних у нерівноважних умовах з йонно-плазмових потоків. Показано, що використання в якості складових квазибінарної системи фаз з різною те-плотою утворення (TiC з відносно великою теплотою утворення 183,8 кДж/моль та WC з відносно низькою теплотою утворення 37,7 кДж/моль) уможливлює змінювати фазовий склад від монокарбіду, стабільного до високих температур, до багатофазного стану з фаз нижчих карбідів. Збі-льшення температури підложжя при осаджуванні призводить до анізот-
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.