Äîñë³äaeåíî åëåêòðîôiçè÷íi ïàðàìåòðè òåñòîâèõ ñòðóêòóð íà âèñîêîîìíîìó êðåìíi¿, ÿêi ñôîðìîâàíi â ïðîöåñi âèãîòîâëåííÿ p-i-n ôîòîäiîäiâ. Ç äîïîìîãîþ òåñòîâèõ ÌÄÍ ñòðóêòóð ñïåöiàëüíî¿ êîíñòðóêöi¿ âèçíà÷åíî ïðàêòè÷íî âàaeëèâi õàðàêòåðèñòèêè ñèñòåì Si-SiO 2 òà Si-SiO 2 -Si 3 N 4 , ÿêi õàðàêòåðèçóþòü ÿêiñòü êðåìíiþ òà ìiaeôàçîâî¿ ãðàíèöi ðîçäiëó äiåëåêòðèêíàïiâïðîâiäíèê: øâèäêiñòü ïîâåðõíåâî¿ ãåíåðàöi¿ S g , îá'ºìíèé ãåíåðàöiéíèé ÷àñ aeèòòÿ íåîñíîâíèõ íîñi¿â çàðÿäó ó êðåìíi¿ τ g , à òàêîae çíà÷åííÿ ôiêñîâàíîãî çàðÿäó Q ss òà ðóõîìîãî çàðÿäó ó äiºëåêòðèêó Q i . Âñòàíîâëåíî âïëèâ òèïó äiåëåêòðèêà íà âåëè÷èíó S g òà íàïðóãè íà äiåëåêòðèêó íà øâèäêiñòü ãåíåðàöi¿ íåîñíîâíèõ íîñi¿â çàðÿäó ó ÌÄÍ ñòðóêòóðàõ. Âèÿâëåíî âçàºìîçâ'ÿçîê âåëè÷èí ðóõîìîãî çàðÿäó ç ð³âíåì çâîðîòí³õ ñòðóì³â ä³îä³â.Ïîêàçàíî âèñîêó iíôîðìàòèâíiñòü çàñòîñîâàíèõ êîíñòðóêöié òåñòîâèõ ÌÄÍ ñòðóêòóð ³ âèêîðèñòàíî¿ ìåòîäîëî㳿 êîíòðîëþ ÿêîñò³ òåõíîëî㳿 ïðè ðîçðîáö³ òà âèãîòîâëåíí³ p-i-n ôîòîäiîäiâ.Êëþ÷îâi ñëîâà: p-i-n ôîòîäiîäè, âèñîêîîìíèé êðåìíié, ÌÄÍ ñòðóêòóðè, êåðîâàíèé ä³îä.