Abstract-A laboratory thermocycling installation that provides a possibility of test operation in a temperature range of 83-473 K is proposed. The installation is intended to reliably determine the resistance of devices and materials to the effect of temperature changes with a rate of up to 10 K/s. DOI: 10.1134/S0020441215010261We designed, manufactured, and tested the laboratory thermocycling installation in a temperature range of 83-473 K for devices and materials. Two vertically located chambers are used in it. The tested samples are transferred from the cooling chamber to the heating chamber in the inert nitrogen atmosphere from the lower working temperature value (83 ± 5 K) to the upper working temperature value (473 ± 5 K) there and back.The installation (figure) consists of the heating chamber, cooling chamber, control rack, containermoving mechanism, and hanged container. The heating chamber is a sealed quartz tank, equipped with a contactless heater and a platinum temperature sensor. The cooling chamber is a reservoir for storing liquefied gases (Dewar vessel) with an evaporator and two platinum temperature sensors in the testing zone of devices and in the volume of the liquefied gas (monitoring of the presence of the liquefied gas). The control rack contains four reading-value converters of four platinum temperature sensors installed in the container with tested units, in the heating chamber, and in the cooling chamber; two timers of endurance tests in the heating and cooling chambers; and the test-cycle counter.During the operation, the samples are exposed to a set of successive test cycles. The minimal carry-over time of a tested object is 30 s at maximum.After the completion of the last cycle, the tested objects are held at room temperature until the thermal equilibrium is reached.During the tests, the objects are held in an inert nitrogen atmosphere, thus allowing one to avoid the ice-crust formation and irreversible oxidation processes under the action of an elevated temperature.The installation guarantees a temperature measurement accuracy of ±4 K; the overall dimensions of the tested objects are 40 × 40 × 50 mm, and the total mass is no more than 100 g. The temperature is measured by the temperature sensors with a measurement accuracy of ±0.2% in four zones (in the container with tested units and in the heating and cooling chambers). LABORATORY TECHNIQUESBlock diagram of the laboratory thermocycling installation operating in a wide temperature range: (1) container-moving mechanism, (2) container with samples, (3) heating chamber, (4) cooling chamber, and (5) evaporator.

Аннотация. Методами оптической и электронной микроскопии, оптической профилометрии исследована микроструктура пленок металлизации и нитрида кремния на кремниевых пластинах. Получены значения шероховатости металлизации и нитрида кремния при варьируемой температуре предварительного прогрева подложек. Определен режим предварительного прогрева кремниевых подложек, обеспечивающий минимальную шероховатость различных пленок металлов и минимальную дефектность многослойной структуры металлизации и нитрида кремния. Обнаружено повышение удельной плотности структурных дефектов пленок алюминия с увеличением температуры формирования тонких пленок, что, по-видимому, является следствием влияния повышенного коэффициента самодиффузии алюминия по сравнению с титаном. Предложена методика оценки микроструктуры тонких пленок алюминия, титана, сформированных магнетронным распылением, и нитрида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на металлических пленках. Методика основана на определении минимального количества и размеров структурных дефектов с применением методов электронной микроскопии и профилометрии. Методика и результаты исследований позволяют обоснованно подходить к разработке технологии устройств микросистемной техники.

Представлена установка для термоциклирования, обеспечивающая возможность проведения испытаний устройств и материалов к воздействию изменения температуры в диапазоне 83-473 К; предложенная установка позволяет достоверно определять устойчивость к воздействию со скоростью до 10 К/с.

No abstract

No abstract