Die Untersuchung der Kinetik bei der Umsetzung von Siliciumtetrachlorid (I) mit Methanol zu Tetramethoxysilan (III) zeigt, daß die Geschwindigkeitskonstante der Bildungsreaktion des Tetramethoxysilans (III) 20 mal höher ist als die Konstante der Rückreaktion.

Die Umsetzung von Phenyldichlorsilan (I) mit wasserfreiem Äthanol (II) bei 35 ‐ 38°C liefert beim Entfernen des gebildeten Chlorwasserstoffs durch Einblasen von Stickstoff bei 25 oder 65°C oder durch Anlegen von Vakuum das Phenyldiäthoxysilan (III) in einer Ausbeute von 61‐65%.

Die Umsetzung von Dimethyldichlorsilan (I) mit Isooctanol (II) führt in einer Gleichgewichtsreaktion zu Octyloxysilan (III).