Thermodynamic and Kinetic ConsiderationsFor reactions taking place between the species Ga, As,, As,, ASH,, and H,, the equilibrium constants were calculated. The discussion indicates that factors other than thermodynamic considerations significantly influence the deposition process. Kinetic investigations demonstrate the importance of the As: Ga proportion that has to apply for perfect layer growth. The mechanism of deposition is in correspondence with a Langmuir-Rideal Model. For high substrate temperatures a homogeneous reaction in the vapour phase can-not be excluded.Fiir die zwischen den Spezies Ga, As,, As,, ASH, und H, ableufenden Reaktionen wurden die Gleichgewichtskonstanten berechnet. Es zeigte sich jedoch, daB andere als thermodynamische Faktoren den AbscheidungsprozeB wesentlich bceinflussen. Kinetische Untersuchungen verdeutlichen die Rolle des aufzuwendenden As : Ga-Verhiiltnisses fur optimales Schichtwachstum. Die Abscheidung erfolgt nach einem Langmuir-Rideal Mechanismus. Bei hohen Substrattemperaturen kann eine homogene Reaktion in der Gasphase nicht ausgeschlossen werden.

The pyrolytic deposition process of Gah-011 insulating substratc inaterials results i n metallic black to marly colourless layers. Morphology arid groivth rates are infliienced by growth terriperaturc, nature and flow ratcs of the carrier gases. In the cathotloliirniriescericc characteristic emission bands w w e foniid from E ( P ) = 3.54 to 3.10 eV end E ( P ) = 2.21 t o 2.07 rV, the relative intensities of which depend on tho flow rate of tlie used carrier gas. Yellow arid colourless layers exhibit, partly alone, a peak at E ( P ) = 2.48 el'. The external quantum yield reaches a maximum for da.rk, inetallic layers. Het'wccri the growt,h parainetnrs and tho concentration of vacancies and incorporation of impurities also, a coiinection exists in a manricr shown by the spectra. Die pyrolytische Abscheidung vori GaN auf isolierenden S~ibstratinnterialien fuhrt z u inctallisch schwarzen bis riahczu farblosen Schichten. Morphologie iind Wachstumsrate xverdcii becinflul3t durch Waehstnmsternperatur sowie Art und Stromungsraten des Triigergases. I m Katodolurnineszenzspektrum w x d e r i charaktrristische Ernissionsbandeii in der Nuhe der Baridkarite h i 3,54...3,10 eV sowie bci 2,21..-2,07 eV erhalt'en, deren relative Interisitiitcn vori der Stromnngsrate des Triigcrgasstromcs abhiirigen. Rci gelber uiid iarhloser Probe erscheint, z. T. ausschlieBlich, ein Peak bei 2.48 eV. Dic iiiul3ereQiiantoiiausbentc ist fur dunklc, metallische Proben a m grol3ten. Zbvischen den Zuchtungsparameterri iind der Vakanzeiiko~izentration sowie dem Verurireinigungseiiibau (Sauerstoff) bosteht ein durch die Spektreri ausgewiesener Zusammenliang.

Es wurde versucht, mittels der Ätztechnik die Qualität von Spinellsubstraten (Zusammensetzung MgO × 3,3‐3,5 Al2O3) der Orientierung (100), (110) und (111) zu erfassen. Die Ätzuntersuchungen ergaben, daß KHSO4, H3PO4 und Na2B4O7 auf der (111)‐Fläche und auf der (100)‐Fläche nur KHSO4 Versetzungsätzgruben bilden. Die auf den (100)‐, (111)‐ und (110)‐Flächen beim Ätzen entstandenen stäbchenförmigen Defekte wurden als Al2O3‐Ausscheidungen analysiert.

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