Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui faktor-faktor yang mempengaruhi kinerja guru di Taman Kanak-kanak se-Kabupaten Sukoharjo Jawa Tengah. Penelitian ini menggunakan penelitian kuantitatif. Teknik pengumpulan data menggunakan kuesioner/angket. Teknik analisis data dalam penelitian ini menggunakan analisis faktor atau disebut CFA (Confirmatory Factor Analysis). Hasil penelitian menunjukkan bahwa faktor individu (kompetensi guru) yang terdiri dari kompetensi pedagogik, kompetensi kepribadian, kompetensi profesional dan kompetensi sosial berpengaruh terhadap kinerja guru, hal ini dibuktikan dengan nilai Eigenvalues sebesar 2,506. Hasil penelitian menunjukkan bahwa faktor psikologis yaitu motivasi guru berpengaruh terhadap kinerja guru, hal ini dibuktikan dengan nilai Eigenvalues sebesar 1,462. Hasil penelitian menunjukkan bahwa faktor organisasi yaitu disiplin guru berpengaruh terhadap kinerja guru, hal ini dibuktikan dengan nilai Eigenvalues sebesar 1,005.