A method is proposed for ion-plasma deposition of thin multicomponent films with the ability to control the component composition in thickness (gradedfilm) with a change in the pressure of the working gas according to a given law. Using the BaxSr1-xTiO3 (BSTO)perovskite-type structure as an example, the calculated (Monte Carlo simulation) and experimental dependences of the component composition of films and their deposition rate on the pressure of the working gas were obtained. As an example, the possibility of deposition of BSTO films with a linear distribution of composition by their thickness.

Поступила в Редакцию 21 февраля 2019 г. В окончательной редакции 21 февраля 2019 г. Принята к публикации 26 февраля 2019 г.Экспериментально исследовано изменение элементного состава тонких пленок PZT, полученных методом ВЧ магнетронного распыления при вариации давления рабочего газа. Интерпретация полученных экспериментальных результатов проведена на основе статистического моделирования процессов термализации и диффузии потоков распыленных атомов Pb, Zr и Ti при ионно-плазменном осаждении тонких пленок PZT. Показано, что результаты моделирования достаточно корректно (в пределах 5%) описывают изменение элементного состава при различных значениях давления газовой среды. Проведенные исследования позволяют получать тонкие пленки PZT с заданным элементным составом, что важно для оптимизации электрофизических свойств твердых растворов, относящихся к области морфотропной фазовой границы.Ключевые слова: сегнетоэлектрики, тонкие пленки PZT, элементный состав, моделирование ионно-плазменных процессов.