Описаны методики прецизионной обработки поверхности оптических элементов пучками ускоренных ионов. Приведены характеристики и возможности оборудования, а также решаемые с помощью него задачи. Подробно описаны возможности финишной коррекции локальных ошибок формы малоразмерным ионным пучком, осесимметричной коррекции/асферизации широкоапертурным сильноточным ионным пучком и ионной полировки. Представлены значения эффективной шероховатости поверхности плавленого кварца, ситалла, Zerodur'а, ULE в диапазоне пространственных частот q[2.5·10-2-6.0·101 μm-1], а также примеры формирования сферической поверхности и профиля асферизации. Ключевые слова: ионно-пучковая методика, пучок ускорения, кварц, ситалл.