Thermophysical and mechanical characteristics of beryllium are compared with the corresponding characteristics of promising materials that are used for fabrication of precision mirrors working under high-intensity electromagnetic irradiation. Advantages and prospects for application of beryllium in the third- and fourth-generation synchrotrons are discussed. An original method for fabrication of ultrasmooth surfaces of beryllium substrates is presented, and limiting roughnesses are reported. Reflectances at a wavelength of 13.5 nm are determined for a multilayer Mo/Si mirror deposited on the beryllium substrate. Prospects for improving quality of polishing of beryllium substrates are discussed.

Описаны методики прецизионной обработки поверхности оптических элементов пучками ускоренных ионов. Приведены характеристики и возможности оборудования, а также решаемые с помощью него задачи. Подробно описаны возможности финишной коррекции локальных ошибок формы малоразмерным ионным пучком, осесимметричной коррекции/асферизации широкоапертурным сильноточным ионным пучком и ионной полировки. Представлены значения эффективной шероховатости поверхности плавленого кварца, ситалла, Zerodur'а, ULE в диапазоне пространственных частот q[2.5·10-2-6.0·101 μm-1], а также примеры формирования сферической поверхности и профиля асферизации. Ключевые слова: ионно-пучковая методика, пучок ускорения, кварц, ситалл.