Методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления были получены тонкие пленки оксида олова. Было показано, что они обладают газочувствительностью к парам этанола при 38• C. Измерения морфологии и внутренней структуры скола образцов методами атомно-силовой и сканиру-ющей электронной микроскопии позволили установить, что пленки состоят из наноразмерных зерен стержневидной формы, ориентированных перпен-дикулярно подложке. Зерна разделены порами, пронизывающими пленку на всю толщину. Было установлено, что распределение зерен по их диаметру является нормальным логарифмическим и имеет несколько центров, которые соотносятся как малые целые числа, что свидетельствует о срастании зерен между собой. Минимальный размер зерна в 6 nm может соответствовать критическому размеру зародыша при выбранных условиях осаждения пленок.