Экспериментально методами спектроскопии энергетических потерь электронов в просвечивающем электронном микроскопе в режиме трансмиссионного сканирования на образцах поперечных срезов исследовано изменение атомного состава ультратонких пленок NbN в ходе их облучения смешанными ионными пучками до дозы 4 dpa (по азоту). Установлено протекание процесса замещения атомов азота атомами кислорода, характеризующееся изменением состава проводящей части пленки с NbN на NbNO.Работа поддержана Министерством образования и науки РФ (соглашение о предоставлении субсидии № 14.607.21.0005, уникальный индентификатор RFMEFI60714X0005).

Проведено моделирование распределения температур в функциональном наноэлементе из NbN со встроенной областью нормального металла. Функциональный элемент представляет собой два нанопровода из NbN толщиной 4 nm, расположенных на подложке из монокристаллического AL2O3. Провода разделены слоем диэлектрика толщиной 10 nm. В нижний нанопровод с помощью технологии СЗА, встроена область нормального металла. Дана приблизительная оценка быстродействия функциональных наноструктур, для создания которых используется подобный поход. Ключевые слова:Тонкие сверхпроводящие пленки NbN; функциональные сверхпроводящие наноэлементы из NbN; моделирование тепловых процессов.