Описан метод увеличения эффективности голографических дифракционных решеток (ГДР), предназначенных для рентгеновского диапазона длин волн. Описана процедура обработки поверхности ГДР пучком ускоренных ионов с целью понижения амплитуды и шероховатости штрихов. Для понижения амплитуды штриха применялись ионы Xe с энергией 600 eV, для ионной полировки --- ионы Ar с энергией 800 eV. Показано увеличение дифракционной эффективности решетки на длине волны 4.47 nm почти в 4 раза после ионной полировки. Ключевые слова: дифракционная решетка, монохроматор Черни-Тернера, ЭУФ диапазон длин волн, ионная полировка поверхности, атомно-силовая микроскопия.