2Інститут хемо-та біосенсорики, Мюнстер, Німеччина The characteristics of thin-films conductometric interdigitated electrodes as transducers were studied using impedance spectroscopy. The optimal materials for electrodes and support, the characteristic dimensions of electrodes were chosen for enzyme biosensors designing.

В роботі досліджено рН-чутливість, стабільність та дрейф напівпровідникових струк-тур з різною кількістю та типом поверхневого діелектрика та оптимізовано їх параметри для створення рН-чутливих польових транзисторів. Кращі результати були отримані для двошарового діелектрика, що складається з SiO 2 і Si 3 N 4 , який і запропоновано для розроб-ки рН-чутливих польових транзисторів. Кращі характеристики демонстрували перетво-рювачі, виготовлені в НДІ "Мікроприлад" (Київ, Україна).Ключові слова: рН-чутливі польові транзистори, біосенсори, напівпровідникові струк-тури, діелектрик. Abstract INVESTIGATION OF SEMICONDUCTORS STRUCTURES FOR DEVELOPMENT OF pH-SENSITIVE FIELD EFFECT TRANSISTORSS. V. Patskovsky, О. V. Frolov, О. А. Shul'ga, О. P. Soldatkin, S. V. Dzyadevych PH-sensitivity, stability and drift of semiconductors structures with various quality and type of surface dielectric layer have been investigated. Their parameters for creation of pH-sensitive field effect transistors were optimised. The best results were obtained for two-layer structure of dielectric that consists of SiO 2 and Si 3 N 4 . These structures were proposed for development of pHsensitive field effect transistors. The best characteristics were shown by transducers created at R&D Institute "Microdevice" (Kiev, Ukraine).