Встановлено на основі вимірювань iнфрачервоної Фур’є-спектроскопiї та ефекту Холла, що основними типами радіаційних дефектів в опромінених електронами монокристалах кремнію є кисневмісні комплекси, до складу яких входить міжвузловий вуглець та легуюча домішка. Досліджувані монокристали кремнію в процесі вирощування за методом Чохральського легувались домішкою фосфору, концентрацією Nd=2,2·1016 см-3, та в подальшому опромінювались при кімнатній температурі потоком електронів 1·1017 ел./см2 з енергією 12 МеВ. Показано, що для таких технологічних умов вирощування та опромінення монокристалів кремнію потоком швидких електронів є досить ефективним утворення в об’ємі даних монокристалів А-центрів, додатково модифікованих домішкою фосфору (комплексів VOiP). Радіаційна обробка досліджуваних монокристалів кремнію дозволила підвищити їх коефіцієнт фоточутливості при кімнатній температурі більше як в 2 рази для довжини хвилі інфрачервоного випромінювання λ~11,6 мкм, що відповідає поглинанню радіаційними дефектами, яким належать комплекси CiOi (міжвузловий вуглець - кисень). Показано, що при температурах нижчих за кімнатну з’являється ще одна смуга поглинання при λ~11,3 мкм, що відповідає комплексам VOiP. Запропонована технологія одержання монокристалів кремнію може бути використана для створення на їх основі елементів інфрачервоної техніки для довжин хвиль λ~11,6 мкм та λ~11,3 мкм., які зможуть функціонувати в широкому діапазоні температур.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.
customersupport@researchsolutions.com
10624 S. Eastern Ave., Ste. A-614
Henderson, NV 89052, USA
This site is protected by reCAPTCHA and the Google Privacy Policy and Terms of Service apply.
Copyright © 2024 scite LLC. All rights reserved.
Made with 💙 for researchers
Part of the Research Solutions Family.