Tóm tắt-Phương pháp Monte Carlo được xem là một phương pháp tính liều chính xác nhất trong xạ trị. Mô phỏng máy gia tốc chính xác là một yêu cầu cần thiết trong tính liều bằng phương pháp này. Trong nghiên cứu này, máy gia tốc Primus M5497 của hãng Siemens tại Bệnh viện Đa khoa Đồng Nai được mô phỏng bằng chương trình EGSnrc cho mức năng lượng photon 6 MV. BEAMnrc và DOSXYZnrc là hai chương trình được sử dụng trong việc mô phỏng và tính toán phân bố liều trong phantom nước. Phần trăm liều theo độ sâu (Percentage depth dose, PDD) và phân bố liều theo phương ngang (Beam profiles, OCR) có được từ mô phỏng được so sánh với dữ liệu thực nghiệm để đánh giá độ chính xác trong mô phỏng. Kết quả thu được có sự phù hợp tốt giữa mô phỏng và thực nghiệm với sự khác biệt của PDD là 1,26 % và OCR nhỏ hơn 2 %. Bên cạnh đó, chúng tôi sử dụng phương pháp đánh giá bằng chỉ số Gamma chạy trên Matlab. Phần trăm liều theo độ sâu có phần trăm chỉ số Gamma đạt 100% và phân bố liều theo phương ngang có phần trăm chỉ số gamma đạt 98,5 % với yêu cầu sai biệt về liều là 3 % và độ lệch về khoảng cách là 3 mm. Kết quả trên cho thấy đã mô phỏng thành công máy gia tốc tuyến tính với độ chính xác cao. Từ khóa-máy gia tốc, mô phỏng Monte Carlo, EGSnrc, BEAMnrc, DOSXYZnrc, chỉ số gamma.