A new experimental method to determine damage profiles by Rutherford backscattering

Abstract

Backscattering spectra are measured in channeling-, blocking-, and double-aligned-arrangement. From these data it is possible to determine damage and dechanneling profiles. The method is applied to damaged silicon monocrystals. Riickstreuspektren werden in channeling-, blocking-und double-alignment-Anordnung gemessen. Aus diesen MeDwerten kann man Dekanalisierungs-und Strahlenschadenprofile bestimmen. DieMethode wird auf strahlengeschiidigtes Silizium angewendet.