На основі аналізу елементного складу матеріалів мішені з високоентропійного шестиелементного сплаву AlTiVCrNbMo і електронно-променевих покриттів на його основі встановлено критичний параметр (питома теплота випаровування елемента), який визначає селективну зміну елементного складу. Показано, що формування однофазного покриття високоентропійного сплаву відбувається, коли до складу покриття входить не менше 5 елементів. Отримані результати дозволяють обґрунтувати принципи підбору компонент для досягнення оптимальних елементного та фазового складу високоентропійних сплавів Ключові слова: високоентропійний сплав AlTiVCrNbMo, електронно-променеве покриття, термічний фактор, елементний склад, фазовий склад На основе анализа элементного состава материалов мишени из высокоэнтропийного шестиэлементного сплава AlTiVCrNbMo и электронно-лучевых покрытий на его основе установлен критичный параметр (удельная теплота испарения элемента), определяющий селективное изменение элементного состава. Показано, что формирование однофазного покрытия высокоэнтропийного сплава происходит, когда в состав покрытия входит не менее 5 элементов. Полученные результаты позволяют обосновать принципы подбора компонент для достижения оптимальных элементного и фазового состава высокоэнтропийных сплавов Ключевые слова: высокоэнтропийный сплав AlTiVCrNbMo электронно-лучевое покрытие, термический фактор, элементный состав, фазовый состав