Annular Field Systems And The Future Of Optical Microlithography

Offner, Abe

doi:10.1117/12.7974069

Cited by 24 publications

(8 citation statements)

References 0 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…These distortions affect spectral purity and thus limit the robustness of subpixel demixing and detection algorithms. The HyperSpec™ VS-15 spectrograph avoids these problems by using an Offner Spectrograph [17] with an astigmatism-corrected reflective diffraction grating (Figure 1). The Offner spectrograph design has inherently low smile and keystone distortion [17,18].…”

Section: Ocean Phills System Designmentioning

confidence: 99%

“…The HyperSpec™ VS-15 spectrograph avoids these problems by using an Offner Spectrograph [17] with an astigmatism-corrected reflective diffraction grating (Figure 1). The Offner spectrograph design has inherently low smile and keystone distortion [17,18]. The design was optimized by selecting mirror tilts and the grating's holographic construction point positions to balance third-and fifth-order astigmatism.…”

Section: Ocean Phills System Designmentioning

confidence: 99%

See 1 more Smart Citation

Ocean PHILLS hyperspectral imager: design, characterization, and calibration

Davis¹,

Bowles²,

Leathers³

et al. 2002

Opt. Express

178

View full text Add to dashboard Cite

Abstract:The Ocean Portable Hyperspectral Imager for Low-Light Spectroscopy (Ocean PHILLS) is a hyperspectral imager specifically designed for imaging the coastal ocean. It uses a thinned, backsideilluminated CCD for high sensitivity and an all-reflective spectrograph with a convex grating in an Offner configuration to produce a nearly distortionfree image. The sensor, which was constructed entirely from commercially available components, has been successfully deployed during several oceanographic experiments in 1999-2001. Here we describe the instrument design and present the results of laboratory characterization and calibration. We also present examples of remote-sensing reflectance data obtained from the LEO-15 site in New Jersey that agrees well with ground-truth measurements. 138-170 (1996). 17. A. Offner, "Annular field systems and the future of optical microlithography," Opt. Eng. 26, 294-299 (1987). 18. P. Mouroulis, R. O. Green, and T. G. Chrien, "Design of pushbroom imaging spectrometers for optimum recovery of spectroscopic and spatial information," Appl. ©2002 Optical Society of America

show abstract

Section: Ocean Phills System Designmentioning

confidence: 99%

Section: Ocean Phills System Designmentioning

confidence: 99%

Ocean PHILLS hyperspectral imager: design, characterization, and calibration

Davis¹,

Bowles²,

Leathers³

et al. 2002

Opt. Express

178

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…2 принципиальной схемы гиперспектрометра положе-на телецентрическая зеркальная система, позволяющая получать изображение вне оптиче-ской оси объекта [4][5][6]. В подобных схемах часто возникает эффект наложения дифракци-онной картины различных порядков друг на друга, т.е.…”

unclassified

Compact hyperspectrometer for visible and SWIR wavelength range

Golovin¹,

Demin²

2015

Izv. vysš. učebn. zaved., Priborostr.

View full text Add to dashboard Cite

Приводится описание построенной с использованием схемы Оффнера гипер-спектральной аппаратуры дистанционного зондирования поверхности Земли для видимой и ближней ИК-областей спектра. Представлен двухканальный ги-перспектрометр, имеющий малые габариты и обладающий высоким простран-ственным и спектральным разрешением. Для решения различных народно-хозяйственных, оборонных и научных задач широко применяются оптико-цифровые системы (ОЦС). При мониторинге окружающей среды требо-вания к ОЦС по спектральному и линейному разрешению существенно возрастают. Одним из путей повышения эффективности и производительности оптико-цифровых систем является применение гиперспектральных технологий [1].Гиперспектральные технологии изначально разрабатывались для решения астрофизиче-ских задач. С последующим развитием этих технологий существенно расширилась и область их применения, в частности при создании систем дистанционного мониторинга поверхности Земли. Только гиперспектральные технологии позволяют выявить малые спектральные раз-личия между отдельными элементами исследуемых объектов и служат инструментом для ре-шения ряда важнейших задач, недоступных предыдущим системам мониторинга [2].Сбор гиперспектральных данных базируется на четырехмерной задаче, состоящей из временного, двух пространственных и одного спектрального компонента. Для формирования "куба данных" гиперспектрометра (или гиперкуба) требуется спектральное сканирование в пространственном измерении, осуществляемое посредством движения платформы вдоль на-правления ее хода. На рис. 1 представлена структурная схема формирования гиперспекталь-ного куба, где M i , N i -пространственные компоненты, 1 2 ...   -спектральный диапазон.Излучение, пропущенное через входную щель, отражается, проходит через диспергирующий элемент и далее направляется на фотоприемную матрицу. Таким образом, на двухмерном фо-топриемнике формируется пространственно-спектральное изображение [3].В настоящей статье рассматривается вариант построения гиперспектрометра по схеме Оффнера, которая в своей базовой конфигурации позволяет исправлять аберрации 3-го по-рядка и работать с высокой светосилой.

show abstract

“…The coherent impulse response of the entire optical system h, is then expressible in terms of expressions (6):…”

Section: Ill Analysismentioning

confidence: 99%

Resolution-dependent depth of focus for an incoherent imaging system

1988

View full text Add to dashboard Cite

Through the application of the Rayleigh criterion for a two-point resolution, the dependence of the depth of focus on the resolution in the image is determined for a rectangular, a Gaussian, and an annular lens aperture.These solutions are posed in terms of the normalized parameters, obviating the need for the specification of the actual physical lengths. A general approach applicable to any aperture topology is discussed.

show abstract

Annular Field Systems And The Future Of Optical Microlithography

Cited by 24 publications

References 0 publications

Ocean PHILLS hyperspectral imager: design, characterization, and calibration

Ocean PHILLS hyperspectral imager: design, characterization, and calibration

Compact hyperspectrometer for visible and SWIR wavelength range

Resolution-dependent depth of focus for an incoherent imaging system

Contact Info

Product

Resources

About