In this study, Mβα X-ray production cross-sections and average M-shell fluorescence yields were determined by using EDXRF at 5.96 keV for Pt, Au and Tl compounds. The photo-peak areas were used for the measurement of M X-ray production cross-sections and also other parameters. The obtained values were compared with the theoretical values in the literature to explain the changes in parameters. It was obtained that the changes were resulted from the electronegativity differences between Pt, Br and O in Pt compounds and Au, Br and O in Au compounds. As for Tl compounds, it was obtained different results and attributed to both of the charge transfer from one element to another and polarizability mechanisms of Tl. Öz Bu çalışmada, Mβα X-ışını üretim tesir kesitleri ve ortalama M kabuğu flüoresans verimleri 5.96 keV enerjide, EDXRF yöntemi kullanılarak Pt, Au ve Tl bileşikleri için belirlenmiştir. Foto-piklerin altında kalan alanlar M X-ışını üretim tesir kesitlerinin ve aynı zamanda diğer parametrelerin ölçülmesinde kullanılmıştır. Elde edilen değerler, parametrelerdeki değişimi açıklamak için literatürdeki teorik değerlerle kıyaslanmıştır. Değişimlerin Pt bileşiklerinde Pt, Br ve O arasındaki, Au bileşiklerinde ise Au, Br ve O elementleri arasındaki elektronegativite farkından kaynaklandığı belirtilmiştir. Tl bileşiklerinde ise değişimler hem bir elementten diğerine yük transferi hem de Tl elementinin polarize olabilmesi mekanizmalarına atfedilmiştir. Anahtar Kelimeler: Mβα X-ışını üretim tesir kesiti, Ortalama M kabuğu flüoresans verimi, EDXRF