Caractérisation électromagnétique large bande de couche mince en PZT aux fréquences micro-ondes

Abstract

RésuméUne méthode permettant de déterminer les propriétés électroma-gnétiques d'une couche mince de titano-zirconate de plomb (PZT) est présentée dans cet article. Dans un premier temps nous exposons une méthode large bande permettant l'extraction des propriétés intrinsèques d'un substrat supportant une ligne coplanaire (CPW), puis nous procé-dons à un étalonnage TRL afin d'extraire la permittivité de la couche mince de PZT intégrée à une topologie coplanaire. MOTS CLÉS : PARAMÈTRES S, LIGNE COPLANAIRE, PZT, PER-MITTIVITÉ, PERTES TANGENTIELLES, FERROÉLECTRIQUE. Abstract A method for determining the electromagnetic properties of Lead