Characterization of treated pbte surfaces by means of RHEED and RBS

Abstract

Differently treated PbTe surfaces have been investigated by means of reflection high energy electron diffraction (RHEEl)) and Euthorford backscattering (RBS). It has been shown that chemical lap polishing followed by heat treatment is the best method to fulfil tho requirements of the following epitaxy process concerning the absence of contaminations, the high structural surface perfection, and the flatness of the substrates.Thc influence of heat treatment on structural perfection and chemical composition in the surface region has been investigated to determine the optimal conditions for the tempering step before epitaxy.Untcrschiedlich behandelte PbTe-Oberfliichen wurden mit Hilfe der Zteflexionsbeugung hochenergetischer Elektronen (RHEED) iind der Rutherford-Ruckstrouung (RRS) untersucht. Es wiirde gezcigt, daIj die chemische Wischpolitur, gefolgt von einer Tempcrbehandlung, die gunstigste Methodo z u r Erfiillung der Forderungen des anschliefienden Epitaxieprozesses hinsichtlich der Freiheit von Kontaminationen, der hohen strukturelleri Oberfliichenperfektion und der Substratebenheit darstellt. I)er EinfluB einer Wiirmebehandlnng auf die strukturelle Perfektion und chemischc Zusammensetzung im Oberflachenbercich wurde untersucht, um die optimalen Redingungcn fiir den Temperschritt vor dcr Epitaxie zu bestimmen.