Creation of mass-sensitive piezoelectric elements by the method of pulsed laser deposition

Abstract

МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация Аннотация Ключевые слова Обозначена проблема точности контроля загрязнения окружающей среды. Описана проблема существующих измерительных приборов, в основе которых лежит кварцевый пьезоэлемент. Приведены преимущества кварцевых микровесов над другими методами измерения концентрации. Показана конструкция кварцевого массочувствительного датчика. Предложен метод его изготовления-импульсное лазерное осаждение, указаны преимущества методов над аналогами. Описан эксперимент, проведенный на установке НаноФаб 100. Указаны параметры эксперимента, такие как число импульсов, частота следования импульсов, давление в камере, расстояние между мишенью и подложкой. Приведена таблица с результатами измерения частоты собственных колебаний резонатора до и после нанесения на него покрытия. Указаны полученные значения массы и толщины осажденного слоя. Отмечены возможности определения концентрации вещества в среде. Импульсное лазерное осаждение, датчик пыли, массочувствительный датчик, кварцевые микровесы, кварцевый резонатор, загрязнение окружающей среды, тонкопленочные покрытия, измерение толщины тонких пленок