“…Равновесная газоразрядная плазма применяется для нанесения покрытий, получения и сфероидизации порошков из металлов и других тугоплавких материалов, резки, наплавки, в качестве реагента и (или) энергоносителя при различных химических взаимодействиях и во многих других приложениях [1][2][3][4][5][6]. Неравновесная плазма, обладая высокой химической активностью, обусловленной большим отрывом электронной и газовой температур [7], применяется в плазмохимических реакторах [8], в процессах поверхностной модификации материалов, напыления и осаждения покрытий [9,10,11], в плазменных актуаторах [12,13], в микроэлектронике [14,15], в качестве активной среды космических электрореактивных двигателей [16,17].…”