The power capabilities of three different two-terminal devices, GaAs IMPATT diodes, inP Gunn devices and GaAs TUNNETT diodes are evaluated. Two different selective etching technologies have been employed to fabricate devices on either a diamond heat sink or an integral heat sink. The reported RF power levels in fundamental mode are 20 mW at 120 GHz and 15 mW at 135 GHz for D-band GaAs IMPATT diodes, 21 mW at 120 GHz, 17 mW at 133 GHz and 8 mW at 155 GHz for D-band InP Gunn devices and up to 35 mW around 103 GHz for W-band GaAs TUNNETT diodes. Typical dc to RF conversion efficiencies range from 0.9% up to over 4.0%, In second harmonic mode power levels of 0.25 mW at 223 GHz were measured from TUNNETT diodes and 0.4 mW at 220 GHz from a Gunn device. Aktive Zweipol-Bauelemente als Lokaloszillatoren fiir rauscharme Empfiingersysteme im Frequenzgebiet der Submillimeterwellen Ubersicht: Die Leistungsf/ihigkeit dreier verschiedener Zweipolbauelemente, GaAs-IMPATT-Dioden, InP-Gunn-Bauelemente und GaAs-TUNNETT-Dioden, wird untersucht. Zwei unterschiedliche Herstellungsverfahren mit selektivem ~tzen wurden eingesetzt, um Bauelemente auf einer Diamant-bzw. integrierten Wfirmesenke herzustellen. Hochfrequenzausgangsleistungen yon 20roW bei 120 GHz und 15 mW bei 135 GHz wurden mit GaAs-IMPATT-Dioden ffir das D-Band erzielt, 21 mW bei 120 GHz, 17 mW bei 133 GHz und 8 mW bei 155 GHz mit InP-Gunn-Bauelementen fiir das D-Band und bis zu 35 mW um 103 GHz mit GaAs-TUN-NETT-Dioden ffir das W-Band. Typische Hochfrequenzwirkungsgrade lagen zwischen 0,9% und fiber 4%. Bei der ersten Oberwelle wurden mit TUNNETT-Dioden HF-Leistungen von 0,25 mW bei 223 GHz gemessen und 0,4 mW bei 220 GHz mit einem Gunn-Bauelement. gies. The experimental results on D-band InP Gunn devices agree well with simulations [3] and indicate that fundamental mode operation can be extended to the upper D-band. Since IMPATT diodes, TUNNETT diodes and Gunn devices are nonlinear devices, this paper also focuses on harmonic power extraction.