Lateral Resolved XPS, a new Key to Failure Analysis

Abstract

XPS (Kurzform für Röntgenstrahleninduzierte Photoelektronen Spektrometrie) wird von enormer Wichtigkeit für industrielle Fertigung und Qualitätskontrolle. Zunehmende Bedeutung kommt der Methode in immer neuen Bereichen zu, nämlich im organischen und biologischen Bereich, d.h. sogar in der Polymerforschung [1], bei Untersuchungen biologischen Gewebes, im Dentalbereich und bei Humanimplantaten. Diese Entwicklung wurde einerseits ermöglicht durch die stetige Weiterentwicklung [2] der Geräte und auf der anderen Seite durch einige “Meilensteine”. “Imaging XPS” (abbildendes XPS, lateral aufgelöstes XPS) ist seit einiger Zeit bekannt und es gibt vielfache sehr unterschiedliche Ansätze zu dieser Frage. Ein Durchbruch gelang mit der Einführung von magnetischen Linsen [3] und “Magnetically Balanced Charge Compensation” [4].