Low frequency MEMS accelerometers in health monitoring – A review based on material and design aspects

Preeti, M.; Guha, Koushik; Baishnab, Krishna Lal; Dusarlapudi, Kalyan; Raju, K. Narasimha

doi:10.1016/j.matpr.2019.06.658

Cited by 26 publications

(5 citation statements)

References 16 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Order By: Relevance

“…The stiffness of the folded and meander springs is expressed by Eq. ( 7) and (8) (Preeti et al 2023;Legtenberg et al 1996). ( 7)…”

Section: Folded and Meander Springsmentioning

confidence: 99%

A New Electrostatic Tunable Capacitor For Wide Ranges Of Applications

Razaghpour,

Ghasemi,

Fathi

2024

Preprint

View full text Add to dashboard Cite

A new electrostatically tunable capacitor for wide range of frequencies is proposed in this paper. A complete design rule is proposed to design a variable capacitor in the range of 0.01 pF – 2.05 pF due the its application. The designed capacitor occupies 0.03 mm 2 – 1.12 mm 2 space based on the required capacitance value which is so small comparing the related published works. The floating technique is used to get the high-quality factor. The quality factor of the proposed capacitor is in the range of 45 to 100 over the frequency range of 1.28G to 2.78GHz, and also the tunability range of the tunable capacitor is 374%. After presenting a complete design rule with the related equations, the proposed capacitor is used in an amplifier circuit with a spiral inductor and the performance of the proposed capacitor is evaluated and compared with other capacitors. The COMSOL Multiphysics is used for simulation.

show abstract

“…The stiffness of the folded and meander springs is expressed by Eq. ( 7) and (8) (Preeti et al 2023;Legtenberg et al 1996). ( 7)…”

Section: Folded and Meander Springsmentioning

confidence: 99%

A New Electrostatic Tunable Capacitor For Wide Ranges Of Applications

Razaghpour,

Ghasemi,

Fathi

2024

Preprint

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…Найчастіший MEMS-акселерометри вже знайшли широке застосування у сфері біомедицини [8]. Наприклад, завдяки пристроям з такими датчиками здійснюють моніторинг ходьби у процесі реабілітації людей з пошкодженнями опорно-рухового апарату [9,10], аналізують характер конвульсій та активують сповіщення при виникненні нападів у людей з певними синдромами [11,12] [14]. Для визначення та оцінки компресій грудної клітки запропоновано також використовувати два параметритрансторакальний імпеданс, вимірюваний дефібрилятором та прискорення отримане з акселерометра.…”

Section: і вступunclassified

Система Зворотного Зв’язку Для Оцінки Ефективності Серцево-Легеневої Реанімації

Маркова,

Давидович

2024

БіоМедТех

View full text Add to dashboard Cite

Серцево-легенева реанімація є однією з найважливіших процедур першої допомоги. Тренінги та семінари з надання першої допомоги та тактичної медицини, у рамках яких вивчають також проведення серцево-легеневої реанімації, набирають популярність у суспільстві. Ефективність таких тренінгів та, надалі, якість проведення серцево-легеневої реанімації постраждалим у критичних ситуаціях, залежить від забезпечення якісного зворотного зв’язку при виконанні процедури. У даній статті запропоновано прототип системи зворотного зв’язку для надання серцево-легеневої реанімації, у складі якої є пристрій, що виконує оцінку виконуваної процедури та програмне забезпечення, яке виконує візуалізацію усіх рухів під час компресій грудної клітини. Використовуючи дані акселерометра, пристрій обраховує силу, глибину та частоту натискань на грудну клітину при виконанні серцево-легеневої реанімації. Вбудоване програмне забезпечення для пристрою було розроблено у рамках операційної системи реального часу для мікроконтролерів FreeRTOS, що гарантує контрольовану та своєчасну обробку усіх дій що виконуються над системою зворотного зв’язку. У статті описано розробку пристрою на основі MEMS акселерометру та здійснення апробації пристрою у реальних умовах із залученням медичного фахівця та тренувального манекену. Створений пристрій, дані з якого візуалізуються за допомогою програмного забезпечення, показав результат тестування у 98.72% правильно зафіксованих компресій грудної клітини. Використання цього пристрою зворотного зв'язку у поєднанні з програмою візуалізації покращить результати проведення тренінгів першої медичної допомоги та сприятиме підвищенню якості надання медичної допомоги в екстрених ситуаціях

show abstract

“…electronics [1], industrial control [2], biomedicine [3] and other fields for gesture control [4,5], health monitoring [6,7]. Representative companies are STMicroelectronics, Bosch, MEMSIC, mCube, etc.…”

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

A novel multi-axis pendulum sandwich structure accelerometer

Wei

Han

et al. 2023

J. Micromech. Microeng.

View full text Add to dashboard Cite

This paper proposes a new scheme of pendulum accelerometer with sandwich structure. In this scheme, the electrical signal on the mass is connected to the wafer surface through glass isolated Through-Silicon-Via (TSV), so that the basic characteristics of the accelerometer can be obtained by wafer-level testing. Compared with the current commercial device process scheme, the packaging and testing cost of the device can be greatly reduced. The Glass-in-Silicon (GIS) encapsulation caps on both sides of the device are prepared by glass isolated TSV and GIS reflow process. By designing the shape and size of the silicon electrode area and glass area of the GIS caps, the parasitic capacitance between the pendulum structure and the fixed electrode is reduced. Another advantage of using TSV to extract the electrical signal of the mass is that the Z-axis inertial force can be detected when the pendulum structure is placed perpendicular to the direction of gravity acceleration. In addition, electrodes are grown on the side of the split device, and when the pendulum structure is placed parallel to the direction of gravity acceleration, the inertial force of the XY-axis can be detected. The test shows that when the range of the pendulum accelerometer based on this scheme is ±2 g, the noise density of the accelerometer is 42 μg/√Hz (X-axis), 40 μg/√Hz (Y-axis) and 27 μg/√Hz (Z-axis), and the Bias instability (BI) is 6.6 μg (X-axis), 7.1 μg (Y-axis) and 6.8 μg (Z-axis), reaching the level of commercial devices.

show abstract

Low frequency MEMS accelerometers in health monitoring – A review based on material and design aspects

Cited by 26 publications

References 16 publications

A New Electrostatic Tunable Capacitor For Wide Ranges Of Applications

A New Electrostatic Tunable Capacitor For Wide Ranges Of Applications

Система Зворотного Зв’язку Для Оцінки Ефективності Серцево-Легеневої Реанімації

A novel multi-axis pendulum sandwich structure accelerometer

Contact Info

Product

Resources

About