2012
DOI: 10.1016/j.proeng.2012.09.522
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Modelling and Simulation of SAW Sensor Using FEM

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
3
1
1

Citation Types

0
5
0
1

Year Published

2015
2015
2023
2023

Publication Types

Select...
7
1

Relationship

0
8

Authors

Journals

citations
Cited by 15 publications
(6 citation statements)
references
References 7 publications
0
5
0
1
Order By: Relevance
“…The SAW-based sensor device consists of interdigitated transducer (IDT) electrodes. The IDTs’ electrodes are made up of either aluminum or gold [ 18 ]. The IDT is a metal comb-shaped structure fabricated over the piezo-substrate using lithography fabrication process [ 12 ].…”
Section: Simulation Methodologymentioning
confidence: 99%
“…The SAW-based sensor device consists of interdigitated transducer (IDT) electrodes. The IDTs’ electrodes are made up of either aluminum or gold [ 18 ]. The IDT is a metal comb-shaped structure fabricated over the piezo-substrate using lithography fabrication process [ 12 ].…”
Section: Simulation Methodologymentioning
confidence: 99%
“…Do đó, việc mô phỏng mô hình cấu trúc ngoài tác dụng giảm số lần thử nghiệm, cải thiện năng suất sản xuất thiết bị còn để tối ưu hóa đặc tính cảm biến mang lại hiệu quả hơn trong quá trình nghiên cứu và chế tạo. Các mô phỏng cảm biến SAW đã được thực hiện trước đây bởi nhiều tác giả [14,15], tuy nhiên việc mô phỏng anten và thiết bị đọc rất phức tạp. Các thiết bị SAW có thể được mô phỏng theo nhiều phương pháp khác nhau như phần tử hữu hạn (Finite Element Method -FEM), mạch tương đương và ghép cặp chế độ riêng, trong đó phương pháp mô phỏng FEM cung cấp cái nhìn sâu sắc về hiện tượng vật lý của thiết bị này với các phần mềm đã được nhiều tác giả sử dụng là Asys, Comsol [16,17], để đánh giá các đặc tính lan truyền sóng trên vật liệu đế, sự phụ thuộc của độ nhạy của cảm biến vào tần số hoạt động, thực hiện các yêu cầu đo lường các đại lượng vật lý.…”
Section: Hình 1 Sơ đồ Cấu Trúc Của Saw Rdlunclassified
“…As a consequence of this finding, they came to the conclusion that FEM is a useful method for examining how well the correlator responds to different modes of propagation. FEM was used in designing and simulating the surface acoustic wave sensor that developed [24]. Kutiš et al [24] used transient piezoelectric analysis to find out the system's eigenmodes and frequencies to investigate the system's harmonic wave propagation characteristics.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%
“…FEM was used in designing and simulating the surface acoustic wave sensor that developed [24]. Kutiš et al [24] used transient piezoelectric analysis to find out the system's eigenmodes and frequencies to investigate the system's harmonic wave propagation characteristics. Because of this, they could investigate the characteristics of the propagation of harmonic waves.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%