Opportunities of the glow discharge optical emission spectrometry (GDOES) in investigating coatings

Abstract

Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС», г. Москва Ф. В. Кирюханцев-Корнеев -ст. науч. сотрудник Научно-учебного центра СВС, доцент кафедры порошковой металлургии и функциональных покрытий МИСиС (119049, г. Москва, В-49, Ленинский пр-т, 4). Тел.: (495) 638-46-59. E-mail: kiruhancev-korneev@yandex.ru.Проанализировано современное состояние исследований функциональных поверхностей и покрытий с помощью метода оптической эмис-сионной спектроскопии тлеющего разряда (GDOES). Описаны его основные принципы. С целью определения требований к образцам и вы-явления потенциальных возможностей метода проведены GDOES-исследования покрытий с различными составами и структурными харак-теристиками, полученных с использованием нескольких способов. Ключевые слова: оптическая эмиссионная спектроскопия тлеющего разряда, GDOES, функциональные поверхности, покрытия, пленки, хи-мический анализ, элементный профиль.The current state of functional surface and coating studies by glow discharge optical emission spectrometry (GDOES) has been analyzed. The main principles are described. For the purpose of determination of the requirements to samples and detection of potential possibilities of the technique, the GDOES-investigations of different composition coatings and structural characteristics, which are obtained by some procedures, have been carried out.

Профильный Анализ Пленок Ферритов-Гранатов Методом Оптической Эмиссионной Спектроскопии Тлеющего Разряда

“…Достаточно полно применение метода GDOES с демонстрацией его возможностей в плане разрешения и чувствительности представлено в ряде обзоров [3][4][5][6]. Например, профильный анализ нанокомпозитных покрытий Ti−Zr−C−O−N толщиной 10 nm, нанесенных на монокристаллический кремний магнетронным распылением мишени TiZrC+ZrO 2 , позволил уверенно выделить три зоны размером от 2 до 3 nm с перепадом концентраций отдельных элементов [6].…”