Recent model calculations are studied of Ance e t al. concerning the valence electron density and hydrogen concentration in hydrogenated amorphous silicon films prepared by glow discharge decomposition of silane. This study is essentially necessitated by the fact that the model of Ance et al. yields values of Penn gap which are fairly large when compared to energies corresponding to peaks in the spectra of the imaginary part of the dielectric constant. Also a method is proposed to evaluate the density of the films. The densities hence determined are shown to be in accord with available experimental data. In the passing, results of the electronic polarizability of these films are also reported.
Es werden die neueren Modellrechnungen von Ance e t nl. iiber die Dichte der Valenzelektronen undWasserstoffkonzentration in hydrogenisierten amorphen, durch Glimmentladungszersetzung von Silan hergest,ellten Siliziumschichten untersucht. Dies wird wesentlich durch die Tatsache erforderlich, daI3 das Modell von Ance et al. Werte fur das Penn-Gap liefert, die im Vergleich zu den Energien, die den Maxima in den Spektren des Imaginiirteils der Dielektrizitatskonstante entsprechen, ziemlich groB sind. Es wird eine Methode zur Berechnung der Schichtdichten vorgeschlagen. Die so bestimmten Dichten befinden sich in Ubereinstimmung mit vorhandenen experimentellen Werten. Des weiteren werden Ergebnisse der elektronischen Polarisierbarkeit dieser Schichten mitgeteilt.