Bir silikon malzeme üzerine gelen radyasyon akısı (proton, nötron, gamma, elektron, ion vb.) noktasal veya küme şeklinde bir örgü hasarına sebep olabilmektedir. Bu hasarın miktarı ve biçimi, gelen radyasyonun türüne ve enerjisine bağlı olarak değişir. Protonun, silikon atomlarıyla nükleer esnek saçılması sonucu üretilen birincil çarpışma atomlarının (primary knock on atom, PKA) ve nükleer esnek olmayan etkileşmeleriyle açığa çıkan nükleer geritepen atomların eksiksiz olarak tanımlanması, silikondaki radyasyon hasarının nicel olarak belirlenmesi açısından büyük öneme taşır. Bu çalışmada, silikon üzerine gönderilen 1-100 MeV enerji aralığındaki protonların, nükleer etkileşme tesir kesitleri, nükleer geritepen atomlar ve PKA’lar GEANT4 benzetişim yöntemiyle analiz edilmiş ve sonuçların literatürle karşılaştırmaları yapılmıştır.