Porous Semiconductors: Advanced Material for Gas Sensor Applications

Silicon Porosification: State of the Art

“…At present, the interest extends to other applications of PSi including micromachining [153][154][155][156] and sensor applications. 111,130,135,[157][158][159][160][161][162][163] Porous silicon (PSi) layers are very attractive from a sensor point of view because of the unique combination of a rather perfect single-crystalline structure, a huge internal surface area of up to 200 to 1.000 m 2 /cm 3 with a concomitant enhancement of the adsorbate effects, and often a very high activity in Downloaded by [Stanford University Libraries] at 04: 49 11 October 2012 surface chemical reactions. 163 Numerous researchers have shown that many parameters of a PSi vary as a function of a change in the gas and liquid environment in which the PSi is being kept.…”

About Performance Linearity of the Environment Gas Humidity Capacitive Sensors Based on Silicon Mos Structures With a Nanodimensional Silicon Oxide

“…Застосування полімерних плівок призводить, проте, до зростання деградаційних процесів у структурах і ускладнює технологію. Сен-сори на пористому кремнії мають високу чутливість, але у той же час мають значні гістерезис і час відгуку, нелінійність робочої характеристики [3]. Для створення сенсорів вологості газових середовищ значний інтерес представляють також кремнієві МОН -струк-тури (метал -оксид -напівпровідник) з нано-розмірним власним оксидним шаром на моно-кристалічному кремнії, так як нанорозмірні оксиди структур в залежності від технології їх виготовлення можуть мати значну пористість [4,5], а стан межі розділу кремній -оксид, що змінюється при адсорбції молекул води, на-багато сильніше впливає на електричні харак-теристики таких структур, чим в традиційних МОН -структурах [5].…”

Sensitive and selective detection of H2S and application in the presence of toluene, benzene, and xylene

“…Recently, we have outlined the construction of conductometric sensors that demonstrate considerably higher sensitivities than traditional metal oxide sensors [2][3][4][5][6][7][8]. These simple sensor platforms do not require film-based technology, operate at room temperature, and are produced without the use of time-consuming self-assembly processes.…”