Samarium oxide thin films deposited by reactive sputtering: Effects of sputtering power and substrate temperature on microstructure, morphology and electrical properties

Kaya, Şenol; Yılmaz, Ercan; Karaçalı, H.; Çetinkaya, Ayhan; Aktağ, Aliekber

doi:10.1016/j.mssp.2015.01.035

Cited by 40 publications

(9 citation statements)

References 44 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…The calculated dielectric constant for cubic Sm 2 O 3 is 30.2, which compares well with the experimentally determined [96]. Examining the literature, a wide range of exists, especially for thin films as the is directly dependent on film thickness, structure, and quality [29,97,27]. This spread is clearly seen for the different amorphous bulks modelled here (table 4), which have captured a wide range of the experimentally reported .…”

Section: Electronic Propertiessupporting

confidence: 82%

Structural, elastic, vibrational and electronic properties of amorphous Sm2O3 from Ab Initio calculations

Olsson

Cai

Cottom

et al. 2019

Computational Materials Science

View full text Add to dashboard Cite

Rare earth oxides have shown great promise in a variety of applications in their own right, and as the building blocks of complex oxides. A great deal of recent interest has been focused on Sm 2 O 3 , which has shown significant promise as a high-k dielectric and as a ReRAM dielectric. Experimentally, these thin films range from amorphous, through partially crystalline, to poly-crystalline, dependent upon the synthetic conditions. Each case presents a set of modelling challenges that need to be defined and overcome. In this work, the problem of modelling amorphous Sm 2 O 3 is tackled, developing an atomistic picture of the effect of amorphization on Sm 2 O 3 from a structural and electronic structure perspective.

show abstract

Section: Electronic Propertiessupporting

confidence: 82%

Structural, elastic, vibrational and electronic properties of amorphous Sm2O3 from Ab Initio calculations

Olsson

Cai

Cottom

et al. 2019

Computational Materials Science

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…Then, the deposited films were annealed at 800°C for 40 min under Nitrogen environment. The detailed structural characterizations were performed in our previous study [22] and the fabricated thin films are found to be monoclinic B-type crystal structure with smooth surface. The thicknesses of the deposited films were measured to be 120 nm by ellipsometry.…”

Section: Methodsmentioning

confidence: 99%

Frequency dependent gamma-ray irradiation response of Sm2O3 MOS capacitors

Kaya¹,

Yılmaz

Kahraman

et al. 2015

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B:

Self Cite

View full text Add to dashboard Cite

“…Ayrıca, taban malzeme sıcaklığı, kaplama oranını önemli ölçüde etkilemektedir (Ohring, 2001;Thornton, 1988). (Kaya, Yilmaz, Karacali, Cetinkaya, & Aktag, 2015). X.-Y.…”

Section: Introductionunclassified

D2 Takım Çelik Üzerine Kaplanmış TiN Filmin Adezyon ve Yorulma Özelliklerinin Belirlenmesi

Keleş

2020

Erzincan Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi

View full text Add to dashboard Cite

Takım malzemesinin işlenebilirliği o malzemenin çalışma ömrüne bağlıdır. Bu sebeple endüstride takım ömrünü artırmak için birçok işlem yapılmaktadır. Bunlardan en yaygın olanı malzemenin yüzeyini sert filmle kaplama işlemidir. Kaplanan filmin takım çeliğinin ömrünü artırabilmesi için taban malzeme ve film arasındaki adezyonun yüksek olması gerekmektedir. Sıçratma işlemi ile yapılan ince film kaplamalar, aşınma ve korozyon direncindeki gelişme, yüzey kalitesinin arttırılması, fonksiyonel özelliklerin zenginleştirilmesi ve kullanım ömrünün artması gibi üstün nitelikleri nedeniyle birçok endüstride yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu çalışmada, D2 takım çeliğinin çalışma ömrünü artırmak için kaplanan TiN filmin adezyon ve yorulma ömrü incelenmiştir. TiN filmi 400°C taban malzeme sıcaklığında D2 takım çeliğinin üzerine sıçratma tekniği ile kaplanmıştır. Yapılan testler sonucu D2 çeliğine kaplanan TiN filminin ömrünün 1000 çevrimden daha fazla olduğu belirlenmiştir.

show abstract

Samarium oxide thin films deposited by reactive sputtering: Effects of sputtering power and substrate temperature on microstructure, morphology and electrical properties

Cited by 40 publications

References 44 publications

Structural, elastic, vibrational and electronic properties of amorphous Sm2O3 from Ab Initio calculations

Structural, elastic, vibrational and electronic properties of amorphous Sm2O3 from Ab Initio calculations

Frequency dependent gamma-ray irradiation response of Sm2O3 MOS capacitors

D2 Takım Çelik Üzerine Kaplanmış TiN Filmin Adezyon ve Yorulma Özelliklerinin Belirlenmesi

Contact Info

Product

Resources

About