Simulation analysis of the aluminum thin film thickness measurement by using low energy electron beam

Movla, Hossein; Babazadeh, Mohammad

doi:10.1016/j.ijleo.2013.06.033

Cited by 10 publications

(12 citation statements)

References 11 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…Selain menggunakan XRD, ukuran butir Kristal dapat juga ditentukan menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM). SEM merupakan salah satu alat yang popular untuk mengukur ketebalan dan ukuran butir suatu material [2][6] [7]. SEM adalah salah satu jenis mikroskop elektron yang menggunakan berkas elektron untuk menggambar profil permukaan atau morfologi suatu material.…”

Section: Gambar 5 Full Width High Maximum (Fwhm)unclassified

“…Setelah penumbuhan material kristalin dilakukan karakterisasi sifat fisisnya merupakan hal yang sangat penting. Morfologi (dalam hal ini yang dimaksud adalah permukaan, cacat dan ukuran butir) merupakan salah satu parameter untuk menjelaskan sifat fisis suatu material [2]. X-Ray Difraktometer merupakan salah satu alat yang dapat digunakan untuk mengetahui ukuran butir suatu material kristal [1].…”

unclassified

See 1 more Smart Citation

PENENTUAN UKURAN BUTIR KRISTAL CuCr0,98Ni0,02O2 DENGAN MENGGUNAKAN X-RAY DIFRACTION (XRD) DAN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM)

Didik¹

2020

IPR

View full text Add to dashboard Cite

Telah dilakukan pengukuran ukuran butir Kristal CuCr0,98Ni0,02O2 dengan menggunakan persamaan Scherer dan analisa langsung menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM). Kristal CuCr0,98Ni0,02O2 disintesis dengan menggunakan metode solid state reaction. Untuk dapat mendapatkan data menggunakan persamaan Scherer, sampel harus terlebih dahulu dikarakterisasi menggunakan X-Ray Difraction (XRD). Hasil penghitungan menggunakan persamaan Scherer menunjukkan ukuran butiran Kristal sebesar (0,113 ± 0,015) µm dengan ralat relatif sebesar 13,2 %. Sedangkan pengukuran secara langsung menggunakan SEM menunjukkan ukuran butir Kristal sebesar (1,08 ± 0,23) µm dengan ralat relatif sebesar 21 %. Perbedaan hasil penghitungan dengan hasil pengukuran menggunakan SEM disebabkan karena morfologi lapisan. Morfologi kristal yang dihasilkan oleh scanning berkas elektron sekunder pada SEM memungkinkan untuk mendapatkan perbesaran gambar yang cukup sehingga dapat dilakukan pengukuran secara langsung. Sedangkan penghitungan ukuran butir Kristal CuCr0,98Ni0,02O2 menggunakan persamaan Scherer berdasarkan prinsip difraksi sinar X dengan jarak antar celahnya adalah jarak antar atom pada Kristal sehingga untuk mendapatkan data ukuran butir Kristal menggunakan persamaan Scherer sampel harus terlebih dahulu dikarakterisasi menggunakan XRD. Selain itu, karena dilakukan secara langsung pengukuran hasil karakterisasi menggunakan SEM bukan mengukur ukuran butir Kristal melainkan ukuran partikel.

show abstract

Section: Gambar 5 Full Width High Maximum (Fwhm)unclassified

unclassified

PENENTUAN UKURAN BUTIR KRISTAL CuCr0,98Ni0,02O2 DENGAN MENGGUNAKAN X-RAY DIFRACTION (XRD) DAN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM)

Didik¹

2020

IPR

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…Setelah penumbuhan lapisan dilakukan pengukuran ketebalan. Ketebalan merupakan salah satu parameter untuk menjelaskan sifat fisis suatu lapisan tipis [1]. SEM merupakan salah satu alat yang popular untuk mengukur ketebalan dan ukuran butir suatu lapisan tipis [1][2][3].…”

Section: Pendahuluanunclassified

“…Kelebihan dari pengukuran ketebalan menggunakan SEM adalah dapat mengukur ketebalan lapisan tipis secara real time melalui perbesaran gambar hasil scanning berkas elektron sehingga ketebalan lapisan sesuai dengan ukuran sebenarnya. Tetapi, teknik ini tidak dapat dilakukan secara umum untuk lapisan tipis yang dilapisi pada area yang luas [1]. Selain itu, biaya operasional SEM juga mahal.…”

Section: Pendahuluanunclassified

See 1 more Smart Citation

Determination of Polystyrene Layer Thickness and Zinc Phthalocyanine (Znpc) with Modified Sauerbrey Equations and Scanning Electron Microscope (SEM)

Didik

Rahmawati

Robiandi

et al. 2014

Nat-B

View full text Add to dashboard Cite

ABSTRAK Telah dilakukan pengukuran ketebalan lapisan tipis polistiren (PS) di atas permukaan QCM dan lapisan tipis ZnPc di atas permukaan QCM/PS menggunakan persamaan Sauerbrey dan Scanning Electrone Microscope (SEM). PENDAHULUANStudi tentang sifat fisika lapisan tipis sangat penting dalam aplikasi teknologi. Setelah penumbuhan lapisan dilakukan pengukuran ketebalan. Ketebalan merupakan salah satu parameter untuk menjelaskan sifat fisis suatu lapisan tipis [1]. SEM merupakan salah satu alat yang popular untuk mengukur ketebalan dan ukuran butir suatu lapisan tipis [1][2][3].SEM adalah salah satu jenis mikroskop elektron yang menggunakan berkas elektron untuk menggambar profil permukaan benda. Prinsip kerja SEM adalah menembakkan

show abstract

Optical description of HfO2/Al/HfO2 multilayer thin film devices

Ramzan

Rana

Ahmed

et al. 2014

Current Applied Physics

View full text Add to dashboard Cite

Simulation analysis of the aluminum thin film thickness measurement by using low energy electron beam

Cited by 10 publications

References 11 publications

PENENTUAN UKURAN BUTIR KRISTAL CuCr0,98Ni0,02O2 DENGAN MENGGUNAKAN X-RAY DIFRACTION (XRD) DAN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM)

PENENTUAN UKURAN BUTIR KRISTAL CuCr0,98Ni0,02O2 DENGAN MENGGUNAKAN X-RAY DIFRACTION (XRD) DAN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE (SEM)

Determination of Polystyrene Layer Thickness and Zinc Phthalocyanine (Znpc) with Modified Sauerbrey Equations and Scanning Electron Microscope (SEM)

Optical description of HfO2/Al/HfO2 multilayer thin film devices

Contact Info

Product

Resources

About