Simulation of Forming Multilayer Interface Nanosystems Nb-Co

Abstract

г. Ижевск, ул. Т. Барамзиной, 34 2 Орловский государственный университет имени И.С. Тургенева, 302026, г. Орел, ул. Комсомольская, 95 3 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова 119991, г. Москва, Ленинские горы, д. 1 _______________________________________________________________________________________ АННОТАЦИЯ. В работе выполнено моделирование процессов формирования контактных областей (интерфейса) многослойной наносистемы ниобий-кобальт. Исследована морфология и состав интерфейса многослойной наносистемы. Показано, что морфология границ слоев зависит от температуры подложки, на которую происходит осаждение, и, в значительной степени, определяется подготовкой поверхности для осаждения. В работе рассмотрено модифицирование поверхности путем удаления дефектов с поверхности нанослоя. Моделирование показало, что подготовка поверхности влияет на морфологию и состав интерфейса многослойной наносистемы.