ÖzÇalışmamızda Ag katkılanmış CdO ince filmlerinin (ITO) altlık üzerine sıcak püskürtme (Spray) tekniği ile altlıklar 400⁰C sabit sıcaklıkta iken büyütülme işlemi gerçekleştirilmiş ve üretilen ince filmlerin yapısal özellikleri araştırılmıştır. X-Işını Kırınımı (XRD) cihazı ile yapısal inceleme yapılmış, XRD sonuçlarından numunelerin polikristal kübik yapıda olduğu, tercihi yönelimlerinin katkı miktarının değişimiyle değişmeyip (111) düzlemi olduğu ve 23 nm civarında ortalama kristal boyutuna sahip olduğu görülmüştür. Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) ile ince filmlerin görüntüleri incelenmiş, Ag katkı oranı değişiminin yüzey morfolojisinde önemli bir değişime neden olmadığı görülmüştür.