2009
DOI: 10.1002/vipr.200900389
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Technisch‐wirtschaftlicher Review der Herstellung tetraedrisch‐amorpher Kohlenstoffschichten durch Lichtbogenverdampfen

Abstract: ZusammenfassungWegen der hohen Energie der schichtbildenden Teilchen eignet sich Vakuumlichtbogenverdampfen zur Erzeugung tetraedrisch-amorpher Kohlenstoffschichten (ta-C). Da das Verfahren zudem hohe Abscheideraten erlaubt, erscheint es zunächst ideal, um ta-C auch in der industriellen Großserie herzustellen. Jedoch entstehen beim Verdampfungsprozess unweigerlich sog. Makropartikel, die auf den zu beschichtenden Bauteilen ebenfalls abgeschieden werden und die Schichteigenschaften erheblich verschlechtern. Es … Show more

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“…4 b). The analysis shows that the normal stress is in all areas below the critical compressive stress of the coatings of 200 MPa [11]. The findings also enable the identification of the causes of the experimentally determined local wear behavior.…”
Section: Qualification Of a Novel Test Rigmentioning
confidence: 82%
“…4 b). The analysis shows that the normal stress is in all areas below the critical compressive stress of the coatings of 200 MPa [11]. The findings also enable the identification of the causes of the experimentally determined local wear behavior.…”
Section: Qualification Of a Novel Test Rigmentioning
confidence: 82%