“…Bunlardan birkaçı sıralanması gerekirse, ince film üretim hızı, üretim sistemine uygulanan güç, üretim elektrotları arasındaki mesafe, üretim odasına gönderilen silanhidrojen oranı (Silan konsantrasyonu (SC)), taban malzeme sıcaklığı, üretim için bir çekirdek nano alt tabakanın kullanılıp kullanılmaması, üretim gazlarının reaksiyon odasındaki basıncı, plazmanın pachen eğrisinin hangi bölgesinde kaldığı ve belki de en önemlilerinden biri taban malzemenin yüzey morfolojisidir. Bütün bu parametreler üretilen ince filmlerin ya da güneş hücrelerinin elektronik kusur durumunu etkilemektedir [31][32][33].…”