DOI: 10.11606/t.3.2009.tde-29062009-183313
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Uso de filmes obtido pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados.

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“…No grupo onde esse trabalho se insere, pesquisas nos níveis descritos anteriormente também ocorrem . Portanto, o desenvolvimento de novos materiais, a miniaturização de operações unitárias além da produção de pequenos equipamentos de análise foram objeto de estudos anteriores (NASCIMENTO FILHO c , 2005;CARVALHO n , 2009; SILVA e , 2010; LIMA f , 2009).…”
Section: Introductionunclassified
“…No grupo onde esse trabalho se insere, pesquisas nos níveis descritos anteriormente também ocorrem . Portanto, o desenvolvimento de novos materiais, a miniaturização de operações unitárias além da produção de pequenos equipamentos de análise foram objeto de estudos anteriores (NASCIMENTO FILHO c , 2005;CARVALHO n , 2009; SILVA e , 2010; LIMA f , 2009).…”
Section: Introductionunclassified