We report on the design, fabrication and characteristics of both hybrid and monolithic micro-electro-mechanically wavelength tunable 1.55 µm InP-based Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser (VCSEL) structures. Photo-pumped tunable VCSELs are successfully realized using both configurations, and a design for electrically pumped tunable VCSEL is presented. To cite this article: I. Sagnes et al., C. R. Physique 4 (2003). 2003 Académie des sciences. Published by Éditions scientifiques et médicales Elsevier SAS. All rights reserved.
RésuméStructures laser à cavité verticale à base d'InP accordables en longueur d'onde. Nous présentons la conception, la fabrication et les caractéristiques de lasers à cavité verticale accordables en longueur d'onde mettant en oeuvre une configuration hybride et une configuration en intégration monolithique. Dans les deux cas l'émission laser accordable en longueur d'onde a été obtenue en régime de pompage optique. Un concept de laser monolithique accordable pompé électriquement est également présenté.